杨坚平定三方叛乱后，将尉迟迥所管辖的邺城铲除。
邺城一直是兵家相争之要地，公元191年，东汉的袁绍将邺城扩展，成为一座规槎越伟的城市；东汉末年，曹操把邺城当作自己的根据地，遥控首都许县（今河南许昌）；五胡十六国期间，赵、前燕都先后定都于此。北魏王朝夺取邺城后，在此设置行台，形成两京并立的政治格局。北魏分裂为东、西两魏之后，东魏将首都迁于此，邺城成为一代王朝的嗣都。
杨坚对尉迟迥的军队也毫不留情《周书·韦孝宽传》只是轻描淡写地交代道：“兵士在小城中者，尽坑于游豫园”；而《尉迟迥传》则说：“余众，月余皆斩之。”显然，被坑杀的不止是最后仍据小城顽抗的将士，而是所有的“余众”。唐僧道宣在《集神州三宝感通录卷上》中披露了这场大屠杀的经过：拥俘虏将百万人，总集寺北游豫园中明旦斩决。围墙有孔，出者纵之，至晓便断，犹有六十万人，并干漳河岸斩之，流尸水中，水为不流，血河一月，夜夜鬼哭，哀怨切人。以事闻帝，帝曰：“此段一诛，浑有枉滥，贼止蔚迥，余并被驱。当时刚隐成如此事，国初机候不获纵之。可于游豫园南葛疆山上立大慈寺，六时礼佛，加一拜为园中枉死者。”寺成，僧住依敕礼唱，怨哭之声一期顿绝矣。
《广弘明集》卷二八收录了《隋高祖于相州战场立寺诏》：门下昔岁周道既衰，群凶鼎沸，邺城之地寔为祸始，或驱逼良善，或同恶相济，四海之内过半豺狼，兆庶之广咸忧吞噬。朕出车练卒，荡涤妖丑，诚有倒戈，不无困战，将士奋发肆其威武。如火燎毛始无遗烬，于时朕在廊庙任当朝宰。德惭动物民陷网罗，空切罪己之诚，唯增见辜之泣。然兵者凶器，战实危机。节义之徒轻生忘死，干戈之下又闻徂落，兴言震悼日久逾深，永念群生蹈兵刃之苦，有怀至道兴度脱之业。物我同遇观智俱愍，思建福田神功佑助，庶望死事之臣，菩提增长。悖逆之侣，从闇入明，并究苦空咸拔生死。鲸鲵之观，化为微妙之台。龙蛇之野，永作颇梨之镜，无边有性尽入法门，可于相州战地，建伽蓝一所立碑纪事。
中国历史上，为敌人建伽蓝，几乎是从来没有的事情。他惨无人道的大屠杀，其政治目的极其明确，就是用来警告反叛者，让每个人都知道顺我者昌、逆我者亡。平定叛乱体现了杨坚毫不手软的一面，但也能看出杨坚出色的政治才能。
平定叛乱之后，杨坚大刀阔斧地进行了一系列改革，又把三方叛乱镇压下去。在关键时刻，夫人独孤氏派家将对杨坚说：“骑兽之势，必不得下，勉之。”暗示杨坚应该当机立断。得到夫人的暗示，杨坚信心百倍地投入到篡周自立的准备中。
杨坚派人去争取李穆和于翼等关陇地区的实力派人物，这两大家族极力支持杨坚改朝换代，给杨坚吃了第一颗定心丸。接着，北魏旧家世族以及塞上的军事贵族和关陇望族都支持自己。获得如此大的支持，杨坚加速了改朝换代的步伐，老将梁睿平定四川后，接替王谦做了益州总管。上任前，杨坚派遣内史薛道衡到梁睿军中，表明来意：“天下之望，已归于随公。”梁睿会意，上表劝进：“随公，您就是我们心中的天子，我支持你！”随着各个战场的胜利，百官都站在了杨坚这边，都劝杨坚早日称帝。
大象二年（580年）12月，北周任命大丞相杨坚为相国，统辖百官，总理国家政事，除去都督中外、大冢宰的官号，晋爵为随王，划定安陆等20郡为随国，朝见天子时可以不自称名字，备设九锡之礼。杨坚只接受了随王的爵位和10郡的封地。同月，调令废除对所有汉人的赐姓，令其各复本姓，这显然是进一步削弱宇文氏的影响，并得到汉人的普遍拥护。
杨坚为铺平通往皇帝宝座的道路，采取了一系列的措施：他让自己的长子杨勇出任东都洛阳的总管、东京小冢宰，监督东部的地方势力。他又由随国公改称随王，以十郡的封地为随国，封独孤氏为王后，杨勇为世子，随王位在宇文氏的诸王之上。总之，待到平定三方的战争结束之时，杨坚已经为代周自立做好了大部分的准备工作。
大定元年（公元581年）2月，随王杨坚开始接受相国以及九锡的任命和赏赐。建立台阁，设置百官。后诏令进王妃独孤氏为王后，长子杨勇为太子。正月、开府仪大将军庾季才用天象理论劝说杨坚于二月甲子日称帝，其理由是周武王在2月甲子日的牧野之战平定天下，开创周朝八百年的基业；刘邦于2月甲午日即皇帝位于汜水之阳，开汉代四百年基业。季才认为2月甲子日是称帝的吉祥之日，杨坚高兴地接受了这一建议。与此同时，太傅李穆、开府仪同大将军卢贲也都劝杨坚早日称帝。
于是，杨坚派人为周静帝起草退位诏书，静帝下达诏书，逊居别宫。静帝命太傅、杞公宇文椿奉册书，禅位于随王杨坚。杨坚头戴远游冠，接受册、玺，改服天子纱帽、黄袍，入御临光般，服兖（礼服），举行如正月元日大朝会的仪式，正式即皇帝位。
杨坚用原封号当作国号。杨坚原来承袭父爵被封为随国公或随王，故国号称“随”。杨坚迷信，对文字特讲究，认为“随”（繁体字随）内含“走”字，于是，把“走”字旁去掉，最终定国号为“隋”。这一年，隋文帝41岁。
杨坚篡周，利用周政权中央集权化过程中矛盾，从权力中枢发动的宫廷政变。这一政变不但没有打断，因而加速了社会发展的进程。而在另一方面，由于胜利来得太容易，也使得新王朝不能不全盘继承旧王朝的成就与弊病，从而在巩固胜利成果时也必将付出沉重的代价。
